一、基本概念方阻就是方块电阻，又称面电阻，指一个正方形的薄膜导电材料边到边“之”间的电阻，如 图一所示，即 B 边到 C 边的电阻值。方块电阻有一个特性，即任意大小的正方形边到边的电 阻都是一样的，不管边长是 1 米还是 0.1 米，它们的方阻都是一样，这样方阻仅与导电膜的 厚度等因素有关。方块电阻的计算公式：Rs=ρ/t (其中 ρ 为块材的电阻率,t 为块材厚度） 二、利用方阻监控扩散方块电阻是一个二级概念，真正的核心是扩散深度。一般扩散深度会影响电性能参数，因为 扩散深度无法测量，所以只能通过测电阻来大概反映扩散深度和扩散浓度。他是一个深度和浓度， 以及体材料多重作用的结果， 至于其和电性能参数各值之间的线性关 系，目前没有什么特定方程式，都是通过经验来控制在一定的方位，做到 30-50 的都有。方 阻一般只是在扩散后进行监控， 监控方阻就是为了监控扩散的稳定性。 测试方阻跟最后的烧 结工序的影响也是很重要的，因为结的深度也会影响你最后烧结的深度，否则有可能出现 Rs 的异常。所以方阻也是烧结条件的重要指标。一般结深则电阻小，掺杂浓度高。 电阻小了，掺杂量就高了，表面死层就会多，这样会牺 牲很多电流；电阻大了方块电阻，电流的收集就会比较困难；方阻要做高，是需要其他相关条件保障 的方块电阻，假如其他条件不满足，效率反而会降低。一般扩散温度越高，时间越长，流量越大，方 阻就越小，结就越深。除了扩散之外，生产中的其它工序对方阻也会产生影响。一般如果是稳定生产，方阻也是稳 定的。后道生产中，假如出现大量问题片，看症状跟方阻有可能相关的，就可以去反查工序中是否出现了问题，即使电池也是可以测试的。但是这个只能相对参考，一般公司都会规定 方阻多少到多少之间的片子可以进入流程，另外的就要返工，但是因为是抽检，谁又能保障 进入流程的都是好的呢，甚至员工有可能会偷懒，好的片子坏的片子都流入流程。 三、方阻的测量 1、 铜棒测方阻 2、四探针法测方阻
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